더욱 깨끗한 진공 환경으로 실험 및 제조상의 이점 제공

ANCORP와 LOS Vacuum Products 간의 새로운 파트너십을 통해 과학자와 엔지니어는 알루미늄과 티타늄의 특성을 활용하여 공정의 진공 조건을 최적화할 수 있습니다.

과학과 기술이 계속해서 새로운 경계를 무너뜨리면서 각 응용 분야의 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 더 깨끗하고 제어 가능한 진공 환경에 대한 수요가 증가하고 있습니다. 양자 물리학의 정밀한 실험이든 컴퓨터 칩의 대량 제조이든 과학자와 엔지니어는 응용 분야의 제약 내에서 작업하면서 UHV(초고진공) 또는 XHV(극고진공) 조건을 달성할 수 있는 고성능 장비를 찾고 있습니다. .

스테인리스강으로 제작된 진공 시스템은 계속해서 대부분의 공정에서 선택되는 기술이지만 UHV 또는 XHV 조건이 필요한 특수 응용 분야에서는 알루미늄 및 티타늄과 같은 대체 재료가 제공하는 특성의 이점을 누릴 수 있습니다. 예를 들어, 입자 가속기가 있는 연구 센터에서는 알루미늄이 스테인레스강보다 방사선을 더 효율적으로 분산시키기 때문에 빔라인 시스템으로 널리 사용됩니다. 또한 잔류 자성을 적게 유지하여 빔을 조종하는 데 사용되는 강한 자기장에 대한 영향을 최소화합니다.

미국에 본사를 둔 진공 챔버, 밸브 및 부품 제조업체인 ANCORP의 비즈니스 개발 담당 부사장인 Tom Bogdan은 "더 많은 과학자와 엔지니어가 UHV 또는 XHV 공정에 알루미늄과 티타늄을 사용하는 것의 이점을 확인하고 있습니다."라고 말합니다. "대규모 과학 시설과 R&D 커뮤니티는 이러한 첨단 기술을 위한 풍부한 환경을 제공하는 한편, 상업 부문에서도 고정밀 제조를 위한 공정 조건을 개선하기 위해 알루미늄을 사용하기 시작했습니다."

ANCORP는 자체 진공 장비 라인을 설계 및 제조하며, 스테인레스 스틸로 맞춤형 챔버를 제작하기 위한 전용 시설도 구축했습니다. 이제 이 회사는 고객이 UHV 및 XHV 공정에서 이러한 고성능 소재를 활용할 수 있도록 알루미늄과 티타늄으로 진공 하드웨어를 전문적으로 제작하는 LOS Vacuum Products와 파트너십을 맺었습니다. Bogdan은 "이것은 고객에게 고성능 진공 솔루션을 제공하는 데 주력하는 두 회사 간의 훌륭한 파트너십입니다."라고 말합니다. "LOS Vacuum은 글로벌 시장과의 연결 능력으로부터 이익을 얻을 것이며, 우리 제품 포트폴리오에 LOS Vacuum의 고유한 기술을 추가함으로써 이익을 얻을 것입니다."

LOS Vacuum Products는 UHV 및 XHV 응용 분야를 위한 맞춤형 진공 챔버를 설계하고 구축하기 위해 2013년에 설립되었습니다. "알루미늄과 티타늄은 보다 깨끗하고 정밀한 기술 개발에 대한 증가하는 요구 사항을 충족하기 위해 점점 더 인기를 얻고 있습니다"라고 회사 설립자이자 소유주인 Eric Jones는 말합니다. 초기 수요는 주로 연구 커뮤니티에서 비롯되었지만 반도체 부문을 대상으로 하는 장비 제조업체뿐만 아니라 의료 시스템 및 태양전지 생산을 위한 신흥 시장에서도 관심이 높아지고 있다고 Jones는 보고합니다. "이러한 기술이 발전함에 따라 진공 환경은 매우 중요해졌습니다."라고 그는 말합니다.

알루미늄의 주요 장점 중 하나는 스테인리스강보다 가공이 더 빠르고 쉬우므로 맞춤형 기능을 설계에 통합하는 데 더 많은 유연성을 제공한다는 것입니다. 뛰어난 열 전도성 덕분에 알루미늄 챔버가 더 빠르고 균일하게 가열될 수 있어 UHV 또는 XHV 조건을 달성하는 데 필요한 베이크아웃 프로세스가 가속화됩니다. Jones는 “스테인리스강은 진공 챔버 표면에서 가스 분자와 오염 물질을 탈착하기 위해 훨씬 더 뜨거워야 하며, 이를 위해서는 장기간에 걸쳐 더 많은 에너지가 필요합니다.”라고 설명합니다. "알루미늄은 소유 비용과 환경에 미치는 영향을 모두 줄여주며 향상된 제조 가능성과 결합되어 반도체 부문에서 매력적인 선택이 됩니다."

한편, 티타늄으로 제작된 진공 챔버는 양자 물리학 실험에 더 나은 옵션을 제공합니다. 그 이유는 추가 강도와 무게가 고조파 생성의 이점을 얻는 프로세스에 더 많은 안정성을 제공하고 자기를 제거해야 하는 응용 분야에서도 선호되기 때문입니다. 신호. 티타늄은 또한 UHV 또는 XHV 환경에서 스테인리스강을 사용할 때 흔히 발생하는 오염물질인 수소를 흡수하기 위한 게터 역할을 합니다. 이를 통해 티타늄 진공 시스템은 약 10-13 Torr까지 XHV 조건을 지원할 수 있습니다.